Сервис отображения товаров на складе работает в тестовом режиме. Не все товары, находящиеся на складе, отображаются. Просим вас уточнять наличие продукции на складе Химмед у наших специалистов.

Информация о ценах на товары на нашем сайте носит справочно-информационный характер и не является публичной офертой.

Наименование Кат № Фасовка Цена, руб.
Фильтры для газов In-line Metal

Производитель : Entegris

Детальное описание : Фильтры на основе никелевой мембраны и мембраны из нержавеющей стали.

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Фильтры для газов In-line Teflon®

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Фильтры для газов In-line Teflon® – фильтры на основе фторопластовой мембраны.

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Очистители газов GateKeeper®

Производитель : Entegris

Детальное описание :

4-1.png

Преимущества неорганического катализатора очистителей GateKeeper®:

• эффективность очистки до уровня <1 ppb

• не выделяются углеводороды

• наиболее низкое падение давления

Наилучшие характеристики по экономичности – не потребляется электроэнергия и нагрев, большинство моделей регенерируемые. Широкий ряд типономиналов и типоразмеров от 1 л/мин. до 20 000 л/мин., предназначены для очистки основных газов и в точке использования.

Cерии очистителей GateKeeper®

Серия

Основное
применение

Очищаемые
газы

Удаляемые примеси

Несовмести-
мые газы

С – Corrosive

Травление, очистка
камер

HCI, Сl2, НВr,
ВCl3, SiCl4, SiF4

<1 ppb H2О в N2

NH3 и другие
гидриды

Н – Hydrogen

П/п материалы на
основе АЗВ5, SiGe
эпитаксия, отжиг

Н2, Н2 + инерт-
ные газы,
смеси

<1 ppb O2, CO, CO2, и H2O

О2, CDA(Air),
NF3, SF6,
Corrosives, NH3

I – Inert

Продувка, высо-
ко-чист. сварка,
аналитическое
оборудование,
газ-носитель

N2, Не, Ne, Кr,
Аr, галогенво-
дороды, легкие
углеводороды

<1 ppb H2, СО, и CO2
<100 ppt H2O, O2

О2, CDA (Air),
NF3, SF6,
Corrosives, NH3

N – Non-
Reactive

Окисление, плаз-
менное травление

SF6, O2, N2O,
O2 +инертные
газовые смеси

<1 ppb CO2, H2O – только удаляет
H2О из SF6 и СО2;
<1 ppt не-метановые углеводороды

Corrosives, NF3

О – Optics

Фотолитография,
продувка оптики

CDA (Clean Dry
Air)

<1 ppb H2S, Н2О, СО2, амины, кис-
лотообразующие газы и спирты;
<100 ppt NOx;
<10 ppt NH3;
<1 ppt не-метановые углеводороды,
SO2, siloxanes

Corrosives, NH3

SK–Hydride

П/п материалы на
основе АЗВ5, SiGe
эпитаксия

NH3, AsH3, PH3,
SiH4,GeH4

<1 ppb О2, СО2, H2О и oxidation
byproducts

О2, CDA (Air),
NF3, SF6

LK – Carbon
Monoxide

Травление

CO

<1 ppb H2О, карбонилы металлов

NF3 и SF6


Опции GateKeeper®

• Изолирующие вентили изолируют процессную линию при замене очистителя.

• Индикатор влаги

– Индицирует время замены очистителя по замерам влаги на выходе

– Доступен для I, N, H, O серий очистителей

– Монтируется непосредственно в корпус 2500K и 10M моделей

– Конфигурация с тройником для меньших моделей.

• Манифолды

– 3 и 5-ти вентильные манифолды обеспечивают байпасный поток газа при продувке, вакуумировании линий или нештатных ситуациях

– Манифолды для замены позволяют потребителю переключиться на свежий очиститель при отправке на регенерацию отработанного без потерь времени на восстановление функций оборудования

Модель

Макс. поток
(л/мин.)

Номиналь-
ный поток (л/
мин.)

Макс. раб.
давление
(psig / kPa)

Падение давле-
ния (psid / kPa)

Длина
(in / cm)

Диаметр
(in / cm)

35KF

1

0.5

2900/19995

0.5 / 3.4

3.31 /8.4

1.5/3.8

70KF

3

1

2900/19995

0.7/4.8

4.5/11.4

1.5/3.8

100KF

20

2

1000/6895

4 / 27.6

3.31 /8.4

6/15.2

300KF

50

7

700 / 4826

5 / 34.5

8.2/20.8

2/5.1

500KF

60

12

700 / 4826

7 / 48.3

7.94 / 20.2

3/7.6

500KFHP

60

12

2900/19995

7 / 48.3

7.94 / 20.2

3/7.6

700KF

120

18

700 / 4826

7 / 48.3

10/25.4

3/7.6

2500КН

300

60

250/1724

2.5/17.2

17.3/43.9
17.6/44.7

4/10.2

10МН

1000

220

250/1724

1/2” – 9/62
3/4” – 5.3 / 36.5

38.36 / 97.4
56.4/143.3

6/15.2

45М

5000

1100

3000 / 20684

< 110 / 758

58/147.3

9.6 / 24.4

200М

20000

3500

200/1379

4 / 27.6

63.44/161.1

44/111.8

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков EGPS4

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Автономно функционирующая система до 120 л/мин. Разработана под небольшие потоки. Является одной из наименьших существующих систем. Монтаж системы может быть как настенный, так и напольный.

Имеющиеся модели:

– EGPS4H – для очистки водорода

– EGPS4I – для очистки инертных газов

– EGPS4SK – для очистки аммиака

– EGPS4Z – XCDA

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков PGPS4

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Субсистема до 120 л/мин. Внутри система полностью идентична EGPS4. Основные отличия: отсутствие управляющего экрана, простой LED интерфейс и невысокая стоимость для производителей процессного оборудования. Данная система может быть заказана как дополнительная опция к установкам Veeco and Aixtron MOCVD.

Имеющиеся модели:

– PGPS4H – для очистки водорода

– PGPS4I – для очистки инертных газов

– PGPS4SK – для очистки аммиака

– PGPS4Z – XCDA

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков EGPS8

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Автономно функционирующая система до 300/500 л/мин. для Z серии). Разработана специально для высоких газовых потоков. Размеры для сканеров ASML 1200, 1400 или 1700.

Имеющиеся модели:

– EGPS8H – для очистки водорода

– EGPS8I – для очистки инертных газов

– EGPS8SK – для очистки аммиака

– EGPS8Z – XCDA

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков EGPS12

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Автономно функционирующая модель до 1000 л/мин. Является наибольшей из имеющихся систем очистки. Данная модель разработана для обслуживания сразу нескольких установок. Позволяет обслуживать несколько сканеров ASML.

Имеющиеся модели:

– EGPS12H – для очистки водорода

– EGPS12I – для очистки инертных газов

– EGPS12Z – XCDA

– EGPS12SK – для очистки аммиака

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Системы очистки газов AERONEX AGPS для больших потоков 5 000 л/мин.

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Система 5 000 л/мин. – это одиночный модуль, размеры которого подобраны для одного сканера.

Имеющиеся модели: AGPS2EZ2 – XCDA и AGPS2EI – азот.

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Системы очистки газов AERONEX AGPS для больших потоков 10 000 л/мин.

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Система 10 000 л/мин. – это двойной модуль, он размещается задник к заднику.

Имеющиеся модели: AGPS2FZ2 – XCDA и AGPS2FI – азот.

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Очистители газов Chacollet™

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Очиститель газов Chacollet™ удаляет молекулярные примеси из высокочистого сжатого воздуха и азота. Эффективная защита сканеров для DUV фотолитографии.

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Очистка и фильтрация воздуха

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Решения для контроля молекулярных примесей в воздухе (удаление примесей аминов, анионов кислот и следов органики).

Предназначение по месту применения:

1. HVAC. Потолочные фильтры чистых помещений размещаются в системах кондиционирования воздуха.

2. Сканер. Комплекс очистителей и фильтров, предназначенных для защиты от молекулярных примесей внутренней среды, оптики и газов эксимерных лазеров.

3. Фотолитографические треки. Фильтры для размещения в трековом фотолитографическом оборудовании, используются для удаления из воздуха молекулярных примесей.

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Фильтры для газов In-line Metal

Производитель : Entegris

Детальное описание : Фильтры на основе никелевой мембраны и мембраны из нержавеющей стали.

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Фильтры для газов In-line Teflon®

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Фильтры для газов In-line Teflon® – фильтры на основе фторопластовой мембраны.

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Очистители газов GateKeeper®

Производитель : Entegris

Детальное описание :

4-1.png

Преимущества неорганического катализатора очистителей GateKeeper®:

• эффективность очистки до уровня <1 ppb

• не выделяются углеводороды

• наиболее низкое падение давления

Наилучшие характеристики по экономичности – не потребляется электроэнергия и нагрев, большинство моделей регенерируемые. Широкий ряд типономиналов и типоразмеров от 1 л/мин. до 20 000 л/мин., предназначены для очистки основных газов и в точке использования.

Cерии очистителей GateKeeper®

Серия

Основное
применение

Очищаемые
газы

Удаляемые примеси

Несовмести-
мые газы

С – Corrosive

Травление, очистка
камер

HCI, Сl2, НВr,
ВCl3, SiCl4, SiF4

<1 ppb H2О в N2

NH3 и другие
гидриды

Н – Hydrogen

П/п материалы на
основе АЗВ5, SiGe
эпитаксия, отжиг

Н2, Н2 + инерт-
ные газы,
смеси

<1 ppb O2, CO, CO2, и H2O

О2, CDA(Air),
NF3, SF6,
Corrosives, NH3

I – Inert

Продувка, высо-
ко-чист. сварка,
аналитическое
оборудование,
газ-носитель

N2, Не, Ne, Кr,
Аr, галогенво-
дороды, легкие
углеводороды

<1 ppb H2, СО, и CO2
<100 ppt H2O, O2

О2, CDA (Air),
NF3, SF6,
Corrosives, NH3

N – Non-
Reactive

Окисление, плаз-
менное травление

SF6, O2, N2O,
O2 +инертные
газовые смеси

<1 ppb CO2, H2O – только удаляет
H2О из SF6 и СО2;
<1 ppt не-метановые углеводороды

Corrosives, NF3

О – Optics

Фотолитография,
продувка оптики

CDA (Clean Dry
Air)

<1 ppb H2S, Н2О, СО2, амины, кис-
лотообразующие газы и спирты;
<100 ppt NOx;
<10 ppt NH3;
<1 ppt не-метановые углеводороды,
SO2, siloxanes

Corrosives, NH3

SK–Hydride

П/п материалы на
основе АЗВ5, SiGe
эпитаксия

NH3, AsH3, PH3,
SiH4,GeH4

<1 ppb О2, СО2, H2О и oxidation
byproducts

О2, CDA (Air),
NF3, SF6

LK – Carbon
Monoxide

Травление

CO

<1 ppb H2О, карбонилы металлов

NF3 и SF6


Опции GateKeeper®

• Изолирующие вентили изолируют процессную линию при замене очистителя.

• Индикатор влаги

– Индицирует время замены очистителя по замерам влаги на выходе

– Доступен для I, N, H, O серий очистителей

– Монтируется непосредственно в корпус 2500K и 10M моделей

– Конфигурация с тройником для меньших моделей.

• Манифолды

– 3 и 5-ти вентильные манифолды обеспечивают байпасный поток газа при продувке, вакуумировании линий или нештатных ситуациях

– Манифолды для замены позволяют потребителю переключиться на свежий очиститель при отправке на регенерацию отработанного без потерь времени на восстановление функций оборудования

Модель

Макс. поток
(л/мин.)

Номиналь-
ный поток (л/
мин.)

Макс. раб.
давление
(psig / kPa)

Падение давле-
ния (psid / kPa)

Длина
(in / cm)

Диаметр
(in / cm)

35KF

1

0.5

2900/19995

0.5 / 3.4

3.31 /8.4

1.5/3.8

70KF

3

1

2900/19995

0.7/4.8

4.5/11.4

1.5/3.8

100KF

20

2

1000/6895

4 / 27.6

3.31 /8.4

6/15.2

300KF

50

7

700 / 4826

5 / 34.5

8.2/20.8

2/5.1

500KF

60

12

700 / 4826

7 / 48.3

7.94 / 20.2

3/7.6

500KFHP

60

12

2900/19995

7 / 48.3

7.94 / 20.2

3/7.6

700KF

120

18

700 / 4826

7 / 48.3

10/25.4

3/7.6

2500КН

300

60

250/1724

2.5/17.2

17.3/43.9
17.6/44.7

4/10.2

10МН

1000

220

250/1724

1/2” – 9/62
3/4” – 5.3 / 36.5

38.36 / 97.4
56.4/143.3

6/15.2

45М

5000

1100

3000 / 20684

< 110 / 758

58/147.3

9.6 / 24.4

200М

20000

3500

200/1379

4 / 27.6

63.44/161.1

44/111.8

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков EGPS4

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Автономно функционирующая система до 120 л/мин. Разработана под небольшие потоки. Является одной из наименьших существующих систем. Монтаж системы может быть как настенный, так и напольный.

Имеющиеся модели:

– EGPS4H – для очистки водорода

– EGPS4I – для очистки инертных газов

– EGPS4SK – для очистки аммиака

– EGPS4Z – XCDA

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков PGPS4

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Субсистема до 120 л/мин. Внутри система полностью идентична EGPS4. Основные отличия: отсутствие управляющего экрана, простой LED интерфейс и невысокая стоимость для производителей процессного оборудования. Данная система может быть заказана как дополнительная опция к установкам Veeco and Aixtron MOCVD.

Имеющиеся модели:

– PGPS4H – для очистки водорода

– PGPS4I – для очистки инертных газов

– PGPS4SK – для очистки аммиака

– PGPS4Z – XCDA

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков EGPS8

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Автономно функционирующая система до 300/500 л/мин. для Z серии). Разработана специально для высоких газовых потоков. Размеры для сканеров ASML 1200, 1400 или 1700.

Имеющиеся модели:

– EGPS8H – для очистки водорода

– EGPS8I – для очистки инертных газов

– EGPS8SK – для очистки аммиака

– EGPS8Z – XCDA

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Cистема очистки газов AERONEX для малых потоков EGPS12

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Автономно функционирующая модель до 1000 л/мин. Является наибольшей из имеющихся систем очистки. Данная модель разработана для обслуживания сразу нескольких установок. Позволяет обслуживать несколько сканеров ASML.

Имеющиеся модели:

– EGPS12H – для очистки водорода

– EGPS12I – для очистки инертных газов

– EGPS12Z – XCDA

– EGPS12SK – для очистки аммиака

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Системы очистки газов AERONEX AGPS для больших потоков 5 000 л/мин.

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Система 5 000 л/мин. – это одиночный модуль, размеры которого подобраны для одного сканера.

Имеющиеся модели: AGPS2EZ2 – XCDA и AGPS2EI – азот.

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Системы очистки газов AERONEX AGPS для больших потоков 10 000 л/мин.

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Система 10 000 л/мин. – это двойной модуль, он размещается задник к заднику.

Имеющиеся модели: AGPS2FZ2 – XCDA и AGPS2FI – азот.

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Очистители газов Chacollet™

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Очиститель газов Chacollet™ удаляет молекулярные примеси из высокочистого сжатого воздуха и азота. Эффективная защита сканеров для DUV фотолитографии.

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
Очистка и фильтрация воздуха

Производитель : Entegris

Детальное описание :

Решения для контроля молекулярных примесей в воздухе (удаление примесей аминов, анионов кислот и следов органики).

Предназначение по месту применения:

1. HVAC. Потолочные фильтры чистых помещений размещаются в системах кондиционирования воздуха.

2. Сканер. Комплекс очистителей и фильтров, предназначенных для защиты от молекулярных примесей внутренней среды, оптики и газов эксимерных лазеров.

3. Фотолитографические треки. Фильтры для размещения в трековом фотолитографическом оборудовании, используются для удаления из воздуха молекулярных примесей.

Подробнее
Под заказ Добавить товар в доп корзину
. TopList .